| Название
| Численное исследование процесса взаимодействия высокочастотного емкостного разряда с материалами
|
|---|
| Авторы
|
|
|---|
| Ключевые слова
| математическое моделирование, высокочастотной емкостный разряд, низкотемпературная плазма, разностная схема, численный эксперимент
|
|---|
| Секции
| Математическое моделирование
|
|---|
| Аннотация
| Проведено численное исследование процесса взаимодействия высокочастотного емкостного разряда с материалами. Для численной реализации модели использовалась неявная конечно-разностная схема с равномерным разбиением сетки. Оператор конвективного переноса аппроксимировался методом направленных разностей. Применение интегро-интерполяционного метода обеспечило консервативность конечно-разностной схемы. Был разработан комплекс программ в среде Matlab, проведены численные эксперименты для модельных задач. Полученные результаты соответствуют физике процесса.
|
|---|
| Текст доклада
|
|
|---|
